PECVD是什么
更新时间： 2025-06-28 15:39:03
等离子体增强化学的气相沉积法。
实验机理：借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
优点：基本温度低；沉积速率快；成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。
缺点：设备投资大、成本高，对气体的纯度要求高；对小孔孔径内表面难以涂层；沉积之后产生的尾气不易处理。
PECVD是什么 相关文章
上一篇：大雪节气有什么传统
下一篇：刷牙出血的原因是什么
其他相关资讯
- 陇西威远楼，夜景模式拍得出多少明清古...
- 湖北省咸宁市嘉鱼县气象台发布强对流黄...
- 广西壮族自治区南宁市宾阳县气象台发布...
- 黑龙江省伊春市气象台发布雷电黄色预警...
- 广东省清远市阳山县气象台发布雷雨大风...
- 山东省济南市平阴县气象台发布暴雨黄色...
- 安徽省黄山市气象台发布强对流黄色预警...
- 陕西省榆林市米脂县气象台发布雷雨大风...
- 山西省晋中市寿阳县气象台发布雷暴大风...
- 浙江省丽水市云和县气象台发布暴雨黄色...
- 新疆维吾尔自治区克孜勒苏柯尔克孜自治...
- 河北省承德市滦平县气象台发布雷电黄色...
- 吉林省延边朝鲜族自治州图们市气象台发...
- 四川省甘孜藏族自治州得荣县气象台发布...
- 陕西省榆林市佳县气象台发布雷雨大风黄...
- 浙江省杭州市淳安县气象台发布暴雨黄色...
- 内蒙古自治区赤峰市喀喇沁旗气象台发布...
- 江西省萍乡市莲花县气象台发布雷电橙色...
- 内蒙古自治区包头市气象台发布雷电黄色...
- 湖北省宜昌市枝江市气象台发布强对流黄...
天气预报导航
天气资讯
更多 >>