PECVD是什么
更新时间： 2026-02-13 06:37:41
等离子体增强化学的气相沉积法。
实验机理：借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
优点：基本温度低；沉积速率快；成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。
缺点：设备投资大、成本高，对气体的纯度要求高；对小孔孔径内表面难以涂层；沉积之后产生的尾气不易处理。
PECVD是什么 相关文章
上一篇：大雪节气有什么传统
下一篇：刷牙出血的原因是什么
其他相关资讯
- 季度更新欧易入门路径：一步到位，大陆...
- OKX安全设置：完整攻略-国内网络环...
- 欧易入门路径（大陆用户）—保姆级教程...
- OKX充值提现全指南：避坑指南·轻量...
- 移动端优先欧易APP下载：新手必读，...
- 欧易实名认证全指南：新手必读·全路径...
- 长期维护版OKX操作教程：实操手册，...
- OKX操作教程全指南：快速上手·无痛...
- 欧易实名认证全指南：完整攻略·一步一...
- 多设备同步欧易OKX注册：详细图解，...
- 欧易OKX注册（稳定入口）—进阶策略...
- 季度更新欧易APP下载：一步到位，备...
- 欧易账号开通（大陆用户）—一步到位，...
- 欧易入门路径：保姆级教程-国内网络环...
- OKX安全设置：完整攻略-稳定入口-...
- 长期有效OKX新手指南：详细图解，多...
- OKX国内使用：进阶策略-备用域名-...
- 2026最新欧易入门路径：完整攻略，...
- 最新版欧易入门路径：保姆级教程，国内...
- 欧易入门路径全指南：实操手册·零经验...
天气预报导航
天气资讯
更多 >>