什么是低纳米光刻机
更新时间： 2025-09-23 09:57:21
光刻机（MaskAligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫MaskAlignmentSystem。
低纳米光刻机，是分辨率较高，精确到纳米的光刻机。
2018年11月29日，国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。
什么是低纳米光刻机 相关文章
上一篇：黄鹤楼送孟浩然之广陵的诗意
下一篇：香能直接扔了吗
其他相关资讯
- 海南省琼海市气象台发布台风蓝色预警信...
- 海南省澄迈县气象台发布台风蓝色预警信...
- 海南省文昌市气象台发布台风黄色预警信...
- 海南省定安县气象台发布台风蓝色预警信...
- 云南省昭通市盐津县气象台发布地质灾害...
- 云南省昭通市永善县气象台发布地质灾害...
- 四川省凉山彝族自治州盐源县气象台发布...
- 广东省肇庆市怀集县气象台发布台风蓝色...
- 内蒙古自治区巴彦淖尔市乌拉特前旗气象...
- 内蒙古自治区乌兰察布市察哈尔右翼中旗...
- 山西省临汾市隰县应急管理局、隰县自然...
- 福建省泉州市永春县气象台发布台风蓝色...
- 江西省赣州市寻乌县气象台发布台风蓝色...
- 陕西省气象台发布山洪灾害蓝色预警
- 内蒙古自治区锡林郭勒盟二连浩特市气象...
- 山东省气象台发布暴雨蓝色预警
- 河南省南阳市方城县气象台发布大风蓝色...
- 内蒙古自治区气象台发布大风蓝色预警信...
- 云南省红河哈尼族彝族自治州绿春县气象...
- 云南省曲靖市富源县气象台发布地质灾害...
天气预报导航
天气资讯
更多 >>